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非接觸厚度電阻率測試儀

產(chǎn)品簡介

非接觸厚度電阻率測試儀 型號(hào):JXNRT1
我司產(chǎn)品有:1)便攜式電阻率型號(hào)測試儀、2)硅材料型號(hào)測試儀、3)硅材料重?fù)椒诌x儀、4)硅材料電阻率測試儀、5) 高清晰度電子目鏡。其產(chǎn)品定位于太陽能單晶(多晶)

產(chǎn)品型號(hào):JXNRT1
更新時(shí)間:2024-02-11
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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非接觸厚度電阻率測試儀型號(hào):JXNRT1

非接觸厚度電阻率測試儀

一、測試原理
1、電阻率測試探頭原理
電阻率測試模塊是由一對(duì)共軸渦流傳感器,以及后續(xù)的處理電路組成。將半導(dǎo)體硅片置于兩個(gè)探頭的間隙中時(shí),在電磁場的作用下,半導(dǎo)體硅片中會(huì)產(chǎn)生渦流效應(yīng),通過檢測渦流效應(yīng)的大小,可以換算出該硅片的電阻率和方塊電阻。本方法是一種非接觸無損測量的方法,不損傷材料表面,可以在大多數(shù)場合有效替代四探針法測試電阻率以及方塊電阻。
2、厚度測試探頭原理
厚度探頭采用的是一對(duì)共軸電容位移傳感器。電容傳感器具有重復(fù)性好,測試數(shù)值穩(wěn)定,技術(shù)成熟等優(yōu)點(diǎn),廣泛用于各種材料厚度的測試。
 
二、適用范圍
本設(shè)備為非接觸無損測量設(shè)備,測試過程中對(duì)硅片表面以及內(nèi)部不會(huì)造成損傷。特別適用于代替四探針法用于半導(dǎo)體硅片成品分選檢驗(yàn)。一臺(tái)儀器可以同時(shí)對(duì)厚度和電阻率兩個(gè)指標(biāo)進(jìn)行測試分選,減少了測試工序和測試時(shí)間,提高了測試效率。
典型的客戶:科研單位、硅片生產(chǎn)廠商、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)廠商、光伏企業(yè)、導(dǎo)電薄膜研發(fā)生產(chǎn)企業(yè)。
三、儀器構(gòu)成
1、測試主機(jī):1 臺(tái)
2、電源線:1 根
3、串口數(shù)據(jù)線:1 根
4、電腦端軟件:1 套
5、塑料定位柱:2 個(gè)

四、儀器外觀尺寸結(jié)構(gòu)及圖片
1、整機(jī)尺寸:340*260*180mm
2、機(jī)箱顏色:電腦白


3、儀器結(jié)構(gòu):本儀器采用厚度探頭和電阻率探頭前后并列安裝的方式。
五、儀器主要指標(biāo)
1、電氣規(guī)格
a. 使用標(biāo)準(zhǔn)三插頭,由 220V 交流電供電,整機(jī)功耗小于 15 瓦。
b. 本儀器測試平臺(tái)和外殼均為金屬材料,按照安全規(guī)范,請(qǐng)確保電源地線正確連接。
2、測試范圍
測試樣品要求:厚度小于 600um 的半導(dǎo)體硅片以及其他類似材料。(為客戶提供特殊定制,厚度Z大的測試范圍可以擴(kuò)展到 800um)
電阻率范圍: L 檔: 0.2-5 Ω·cm
H 檔: 5-50 Ω·cm
注: 電阻率不在上述量程范圍內(nèi)的可以按要求調(diào)整, 調(diào)整的范圍可以在0.001-100Ω*cm。
厚度范圍: 100-600 um (定制版可以做到 300-800um) 注:普通版本厚度大于 700um 的硅片無法放入測試區(qū)域。

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